Generare de azot criogenic de grad-semiconductor

În producția de semiconductori de vârf-, urmele de impurități din mediul procesului-H₂O, O₂, CO₂ și THC-se traduc direct în defecte ale plăcilor și pierderi de randament. Generarea convențională de azot pe amplasament-se luptă adesea cu fluctuațiile de puritate și cu un consum mai mare de energie, în timp ce aprovizionarea cu azot lichid se confruntă cu incertitudini ale lanțului de aprovizionare și cu costuri logistice în creștere. Generarea de azot criogenic de calitate-semiconductorilor abordează aceste provocări prin distilare criogenică, furnizând azot de-puritate ridicată cu un conținut de oxigen sub 1 ppm continuu dintr-o singură derapaj, menținând în același timp consumul de energie la niveluri-de vârf în industrie. A devenit sursa standard de azot pentru fabricile de 12 inchi, facilități avansate de ambalare și linii de producție de semiconductori compusi.

Principiul de funcționare

Sistemul funcționează prin distilare criogenică a aerului. Aerul de alimentare trece printr-o filtrare în mai multe-etape și o compresie cu recuperare-de căldură înainte de a intra într-o unitate de purificare cu sită reversibilă sau moleculară-, unde H₂O, CO₂ și hidrocarburile sunt îndepărtate. Aerul purificat este răcit progresiv la aproximativ -170 grade până la -196 grade în interiorul coloanei de fracţionare, unde oxigenul şi azotul sunt separate prin diferenţa de punct de fierbere (oxigen: -183 grade , azot: -196 grade ) prin rectificare continuă în ambalaj structurat. Azotul de înaltă puritate este extras din partea superioară a coloanei, în timp ce gazul rezidual îmbogățit cu oxigen este evacuat sau recuperat în partea de jos. Un turboexpansor cu ciclu închis asigură capacitatea de refrigerare; odată pornit, sistemul funcționează în mod constant numai cu energie electrică și apă de răcire, fără probleme de degradare a adsorbantului sau de înlocuire periodică.

Specificații de performanță

Consumul tipic de energie (la 1.000 Nm³/h, 0,6 MPaG):

• Putere specifică: 0,28 ~ 0,32 kWh/Nm³
• Apă de răcire: aproximativ . 45 t/h (Δt=8 grade)
• Aer instrument: mai mic sau egal cu 5 Nm³/h

În comparație cu configurațiile convenționale cu două-coloane, acest sistem realizează un consum de energie unitar cu aproximativ 8%-12% mai mic printr-un turboexpansor de înaltă-eficiență și elemente interne optimizate ale coloanei.

Date tehnice (model tipic)

Valorile se bazează pe condiții standard de proiectare; cifrele reale pot varia în funcție de altitudinea amplasamentului, temperatura ambientală și condițiile specifice de utilități.

Aplicații

Acest sistem este conceput pentru medii de proces continuu-care impun limite stricte asupra contaminanților gazoși:

• Fabricare de napolitane de 12 inchi / 8 inchi – gaz de purjare și purtător pentru difuzie, CVD, gravare și implantare ionică.
• Ambalare avansată (bumping, TSV) – controlul atmosferei în cuptoarele de reflow pentru a minimiza oxidarea lipirii.
• Semiconductori compuși (SiC, GaN) – gaz purtător și de diluție în timpul creșterii epitaxiale.
• Litografia și realizarea-măștilor – gaz de purjare pentru căi optice UV profunde-pentru a preveni absorbția oxigenului de la schimbarea energiei de expunere.
• Alternativă la benzinărie în vrac – servind ca unitatea centrală a unei curți de gaze-la fața locului, înlocuind livrarea de azot lichid sau băncile de butelii de-înaltă presiune.

Certificari, domeniul de livrare și personalizare

• Coduri de proiectare: ASME VIII-1 / GB/T 150, HG/T 3186 pentru vase sub presiune; conducte conform B31.3.
• Zona electrică și periculoasă: Disponibil cu conformitatea Clasa I Div 2 sau ATEX Zona 2; sistem de control cu ​​redundanță SIL 2.
• Opțiuni de livrare: unități montate-complet (cutie frigorifică, turboexpansor, purificator și comenzi pre-asamblate pe o bază de oțel) sau componente libere-expediate pentru site-urile cu constrângeri de ridicare.
• Customization: Column height and heat exchanger surface can be adjusted for high-altitude (>1.500 m) sau medii cu temperatură ridicată; limitele speciale de-punctul de rouă sau urmele-de impurități pot fi adaptate prin cicluri de distilare personalizate.
• Pachet de documentație: P&ID-uri, desene de aranjament general, scheme electrice, manuale de operare și întreținere, rezumat HAZOP, protocoale FAT/SAT și rapoarte de testare.

Asistență și post{0}}vânzare

• Monitorizare de la distanță: gateway IoT standard cu conectivitate Modbus TCP la DCS sau SCADA instalației; copie de rezervă a datelor în cloud (opțional pe-server local).
• Piese de schimb: seturi de piese de schimb de 3 până la 5 ani care acoperă rulmenții turboexpansor, sita moleculară și etanșările supapelor, livrate împreună cu echipamentul principal.
• Servicii pe teren: supravegherea instalării,-pornirea și punerea în funcțiune, formarea operatorilor (sala de clasă + practică-) și verificarea anuală a performanței.
• Garantie: 12 luni de la acceptare pentru sistemul complet; Componentele-rece ale turboexpansorului au fost extinse la 24 de luni.

Shenger Gas oferă -capacități interne complete în generarea de azot criogenic-de la simularea procesului de distilare și calculul hidraulic al elementelor interne ale coloanei până la analiza tensiunilor cutiei frigorifice-toate finalizate de propria noastră echipă de ingineri. Fiecare unitate este supusă-testării de performanță la încărcare completă înainte de expediere. Pentru aplicațiile cu semiconductori, oferim interfețe suplimentare pentru-monitorizarea în linie a particulelor și integrarea analizei de urme-impurități, asigurându-ne că calitatea azotului rămâne urmăribilă și verificabilă pe tot parcursul producției. Pentru discuții suplimentare cu privire la gradele specifice de puritate, fluctuațiile debitului sau constrângerile de amenajare a site-ului, grupul nostru de inginerie tehnică este disponibil pentru consultare.

Tag-uri populare: generare de azot criogenic de grad -semiconductor, China semiconductor-producători de generare de azot criogenic de calitate, furnizori, fabrică